（1）超精密加工過程

超精加工是用極細磨粒的油石進行光磨的一種光整加工。其加工對象多為軸類零件的外圓，亦可加工滾動軸承溝道及平面等。如圖5．4．3所示，加工時，裝有油石條的磨頭以恒定壓力P輕壓于工件表面。工件以v= 10～15 m／min的速度旋轉，磨頭以0．1～0．15 mm／s的速度縱向進給，同時作往復振動，振動頻率為1 000～1 400 s／min，振幅為3～5 mm。磨粒在工件上的運動軌跡應縱橫交錯而不重復。油石條與工件之間要注入潤滑油（一般為煤油加錠子油），以清除屑末并形成油膜。工件表面微觀凸峰首先被磨去，隨著各處凸峰高度的減低，油石與工件的接觸面積逐步加大，單位面積承受壓力隨之減小，當壓力小于油膜表面張力時，油石與工件將被油膜分離，切削作用自行停止超精加工生產率很高。

圖5．4．3　外圓的超精加工

（2）特點與應用

超精加工主要用于降低表面粗糙度，其值R a可達0．1～0．01，不能提高工件的尺寸精度和形位精度。因此，前工序無須留出余量。超精加工可在車床或外因磨床上安置專用磨頭進行。大批量生產中，可在超精加工機床上進行。